簡要描述:廣州金程科學儀器公司供應的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。
品牌 | 科冪儀器 | 升溫速度(達到最高溫) | ≤10℃/min/min |
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內部尺寸 | Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)mm | 加熱方式 | K型熱電偶,集成式觸摸屏控制 |
最大功率 | 3000kW | 控溫精度 | ±1℃℃ |
最高溫度 | 1200℃ | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 管式爐 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 化工 |
廣州金程科學儀器公司供應的TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。
微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐特點:
雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;
高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;
爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。
微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐參數(shù):
型號: | TFC-1200-60-I-440 |
爐管尺寸: | Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選) |
最高溫度: | 1200℃(短期) |
工作溫度: | 1100℃ |
升溫速率: | ≤10℃/min |
加熱區(qū)長度: | 440mm |
額定功率: | 3kW |
適配電源: | AC220V 50/60Hz |
溫控系統(tǒng): | K型熱電偶,集成式觸摸屏控制 |
控溫精度: | ±1℃ |
密封系統(tǒng): | 爐管兩端配有快開式密封法蘭 |
外形尺寸: | 620*420*580mm |
氣體量程: | 100~1000SCCM |
氣路數(shù)量: | 2~4路(MFC) |
氣路工作溫度: | 5~45℃ |
VRD-8: | 最大承載量:1000Lbs; 抽氣速率:10m3/h; 極限真空度:10-1Pa |
真空度: | 雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa ; 分子泵機組:極限10^-3Pa |
微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐TFC-1200-60-I-440信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐
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